Nanocalc 系列膜厚測量儀的工作原理：

　　利用白光干涉測量法的原理，NanoCalc-2000用一個寬光譜的光源來測得不同波長的反射數(shù)據(jù)，由于反射率n和消光系數(shù)k隨膜厚的不同而變化，NanoCalc-2000根據(jù)這一特性來進(jìn)行曲線擬合從而求得膜厚。在NanoCalc-2000中，不同類型材料的相應(yīng)參數(shù)通過不同的模型來描述，從而保證了不同類型材料膜厚測量的準(zhǔn)確性。

　　Nanocalc系列膜厚測量儀的特點：

　　UV/VIS/NIR高分辨率的配置

　　測量準(zhǔn)確度在1nm，精度在0.1nm

　　可測量4層薄膜的任意3層

　　薄膜測量zui小可至10nm，zui大可至400um

　　可測量zui小1nm厚的透明金屬層

　　提供用于復(fù)雜外形材料測量的試驗臺及附件

　　對表面缺陷和光滑度不敏感

　　龐大的材質(zhì)數(shù)據(jù)庫，保證各種材料的測量